VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2hr in Ar at 380
1
 
NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2hr in Ar at 380
2003
5
7
23
3
24
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
58
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
1195
0.102587
0.104241
96
0.104241
72
0.104232
100
0.104224
84
0.104216
81
0.104207
81
0.104199
83
0.10419
122
0.104182
87
0.104174
78
0.104165
91
0.104157
106
0.104148
123
0.10414
101
0.104132
75
0.104123
99
0.104115
59
0.104107
57
0.104098
75
0.10409
99
0.104081
67
0.104073
118
0.104065
85
0.104056
89
0.104048
92
0.10404
85
0.104031
68
0.104023
53
0.104015
94
0.104006
69
0.103998
43
0.10399
94
0.103981
71
0.103973
78
0.103964
94
0.103956
103
0.103948
75
0.103939
77
0.103931
83
0.103923
81
0.103914
109
0.103906
76
0.103898
90
0.103889
110
0.103881
51
0.103873
90
0.103864
65
0.103856
106
0.103848
94
0.103839
88
0.103831
77
0.103823
56
0.103814
101
0.103806
79
0.103798
77
0.103789
101
0.103781
80
0.103773
81
0.103764
84
0.103756
85
0.103748
112
0.103739
99
0.103731
96
0.103723
78
0.103715
95
0.103706
115
0.103698
106
0.10369
77
0.103681
137
0.103673
95
0.103665
100
0.103656
113
0.103648
143
0.10364
97
0.103631
147
0.103623
150
0.103615
152
0.103607
154
0.103598
169
0.10359
182
0.103582
201
0.103573
207
0.103565
276
0.103557
278
0.103549
364
0.10354
380
0.103532
454
0.103524
524
0.103515
602
0.103507
703
0.103499
714
0.103491
845
0.103482
915
0.103474
931
0.103466
1005
0.103457
1035
0.103449
1113
0.103441
1190
0.103433
1108
0.103424
1195
0.103416
1194
0.103408
1167
0.1034
1107
0.103391
1088
0.103383
973
0.103375
957
0.103367
922
0.103358
879
0.10335
830
0.103342
789
0.103333
697
0.103325
665
0.103317
653
0.103309
588
0.1033
527
0.103292
502
0.103284
437
0.103276
450
0.103267
421
0.103259
359
0.103251
327
0.103243
245
0.103235
247
0.103226
200
0.103218
190
0.10321
155
0.103202
109
0.103193
122
0.103185
107
0.103177
113
0.103169
101
0.10316
97
0.103152
103
0.103144
106
0.103136
68
0.103127
83
0.103119
90
0.103111
66
0.103103
84
0.103095
65
0.103086
45
0.103078
66
0.10307
65
0.103062
73
0.103054
68
0.103045
88
0.103037
55
0.103029
53
0.103021
75
0.103012
53
0.103004
29
0.102996
40
0.102988
32
0.10298
36
0.102971
36
0.102963
44
0.102955
30
0.102947
60
0.102939
25
0.10293
30
0.102922
36
0.102914
42
0.102906
38
0.102898
55
0.102889
51
0.102881
23
0.102873
18
0.102865
49
0.102857
35
0.102849
22
0.10284
47
0.102832
58
0.102824
44
0.102816
27
0.102808
31
0.102799
49
0.102791
0
0.102783
25
0.102775
20
0.102767
32
0.102759
22
0.10275
35
0.102742
25
0.102734
22
0.102726
10
0.102718
33
0.10271
51
0.102701
10
0.102693
18
0.102685
29
0.102677
23
0.102669
24
0.102661
23
0.102653
10
0.102644
8
0.102636
23
0.102628
8
0.10262
42
0.102612
29
0.102604
15
0.102595
13
0.102587
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2hr in Ar at 380
2003
5
7
23
3
25
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
38
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
540
0.100982
0.102587
107
0.102587
121
0.102579
118
0.102571
115
0.102563
99
0.102555
89
0.102547
117
0.102538
89
0.10253
117
0.102522
97
0.102514
121
0.102506
118
0.102498
102
0.10249
104
0.102482
116
0.102473
136
0.102465
114
0.102457
97
0.102449
97
0.102441
108
0.102433
94
0.102425
114
0.102417
111
0.102408
108
0.1024
79
0.102392
123
0.102384
89
0.102376
90
0.102368
82
0.10236
97
0.102352
89
0.102344
103
0.102335
81
0.102327
93
0.102319
103
0.102311
103
0.102303
121
0.102295
86
0.102287
111
0.102279
124
0.102271
110
0.102263
87
0.102254
112
0.102246
122
0.102238
91
0.10223
84
0.102222
126
0.102214
119
0.102206
124
0.102198
90
0.10219
88
0.102182
121
0.102174
94
0.102165
130
0.102157
118
0.102149
126
0.102141
126
0.102133
109
0.102125
123
0.102117
100
0.102109
126
0.102101
117
0.102093
118
0.102085
126
0.102077
123
0.102069
130
0.102061
112
0.102052
130
0.102044
124
0.102036
130
0.102028
140
0.10202
139
0.102012
155
0.102004
145
0.101996
153
0.101988
162
0.10198
152
0.101972
147
0.101964
168
0.101956
164
0.101948
180
0.10194
215
0.101932
209
0.101924
201
0.101916
184
0.101907
205
0.101899
217
0.101891
194
0.101883
225
0.101875
193
0.101867
233
0.101859
270
0.101851
243
0.101843
250
0.101835
233
0.101827
262
0.101819
297
0.101811
266
0.101803
334
0.101795
305
0.101787
338
0.101779
368
0.101771
362
0.101763
319
0.101755
376
0.101747
360
0.101739
379
0.101731
392
0.101723
407
0.101715
454
0.101707
402
0.101699
430
0.101691
422
0.101683
432
0.101675
493
0.101667
485
0.101659
478
0.101651
499
0.101643
457
0.101635
518
0.101627
482
0.101619
463
0.101611
477
0.101603
486
0.101595
540
0.101587
476
0.101579
471
0.101571
513
0.101563
421
0.101555
433
0.101547
415
0.101539
439
0.101531
390
0.101523
382
0.101515
314
0.101507
324
0.101499
337
0.101491
333
0.101483
310
0.101475
359
0.101467
266
0.101459
316
0.101451
290
0.101443
299
0.101435
335
0.101427
347
0.101419
348
0.101411
335
0.101403
390
0.101395
415
0.101387
382
0.101379
366
0.101371
397
0.101363
413
0.101355
392
0.101347
339
0.101339
345
0.101331
315
0.101323
289
0.101315
280
0.101308
227
0.1013
218
0.101292
193
0.101284
149
0.101276
124
0.101268
118
0.10126
96
0.101252
83
0.101244
86
0.101236
77
0.101228
63
0.10122
73
0.101212
56
0.101204
49
0.101196
28
0.101188
34
0.10118
26
0.101172
41
0.101165
22
0.101157
17
0.101149
23
0.101141
25
0.101133
24
0.101125
28
0.101117
20
0.101109
29
0.101101
27
0.101093
0
0.101085
32
0.101077
15
0.101069
20
0.101061
16
0.101054
23
0.101046
41
0.101038
15
0.10103
12
0.101022
27
0.101014
7
0.101006
19
0.100998
6
0.10099
41
0.100982
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2hr in Ar at 380
2003
5
7
23
3
26
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
86
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
8
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
3681
0.104916
0.106641
43
0.106641
129
0.106632
56
0.106623
33
0.106615
109
0.106606
82
0.106597
67
0.106588
67
0.10658
48
0.106571
101
0.106562
79
0.106553
109
0.106545
83
0.106536
74
0.106527
57
0.106518
60
0.10651
62
0.106501
64
0.106492
39
0.106483
67
0.106475
31
0.106466
49
0.106457
104
0.106448
6
0.10644
98
0.106431
86
0.106422
62
0.106414
83
0.106405
87
0.106396
56
0.106387
39
0.106379
65
0.10637
53
0.106361
21
0.106353
43
0.106344
40
0.106335
34
0.106326
45
0.106318
43
0.106309
12
0.1063
1
0.106292
30
0.106283
29
0.106274
32
0.106265
51
0.106257
0
0.106248
77
0.106239
66
0.106231
78
0.106222
14
0.106213
48
0.106205
45
0.106196
52
0.106187
27
0.106179
40
0.10617
45
0.106161
54
0.106153
83
0.106144
45
0.106135
46
0.106126
15
0.106118
71
0.106109
67
0.1061
31
0.106092
102
0.106083
78
0.106074
43
0.106066
59
0.106057
135
0.106048
114
0.10604
130
0.106031
132
0.106022
208
0.106014
259
0.106005
290
0.105996
365
0.105988
422
0.105979
554
0.105971
695
0.105962
831
0.105953
1050
0.105945
1191
0.105936
1507
0.105927
1720
0.105919
1941
0.10591
2260
0.105901
2605
0.105893
2746
0.105884
3129
0.105875
3281
0.105867
3398
0.105858
3681
0.105849
3515
0.105841
3529
0.105832
3479
0.105824
3297
0.105815
3095
0.105806
2696
0.105798
2539
0.105789
2135
0.10578
1867
0.105772
1656
0.105763
1351
0.105755
1185
0.105746
923
0.105737
708
0.105729
578
0.10572
470
0.105712
385
0.105703
304
0.105694
287
0.105686
191
0.105677
193
0.105668
107
0.10566
168
0.105651
149
0.105643
106
0.105634
123
0.105625
61
0.105617
111
0.105608
94
0.1056
96
0.105591
51
0.105582
113
0.105574
48
0.105565
79
0.105557
103
0.105548
69
0.105539
89
0.105531
86
0.105522
117
0.105514
109
0.105505
122
0.105497
86
0.105488
90
0.105479
63
0.105471
130
0.105462
113
0.105454
56
0.105445
72
0.105437
121
0.105428
116
0.105419
136
0.105411
90
0.105402
79
0.105394
83
0.105385
51
0.105377
99
0.105368
120
0.105359
127
0.105351
85
0.105342
78
0.105334
87
0.105325
75
0.105317
108
0.105308
103
0.1053
112
0.105291
108
0.105282
119
0.105274
64
0.105265
64
0.105257
124
0.105248
110
0.10524
73
0.105231
137
0.105223
107
0.105214
111
0.105206
55
0.105197
123
0.105188
109
0.10518
79
0.105171
122
0.105163
110
0.105154
97
0.105146
113
0.105137
99
0.105129
107
0.10512
54
0.105112
77
0.105103
89
0.105095
84
0.105086
92
0.105078
81
0.105069
71
0.105061
82
0.105052
100
0.105044
57
0.105035
127
0.105027
63
0.105018
98
0.10501
23
0.105001
73
0.104993
57
0.104984
66
0.104976
49
0.104967
107
0.104959
64
0.10495
73
0.104942
72
0.104933
84
0.104925
47
0.104916
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2hr in Ar at 380
2003
5
7
23
3
26
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
298
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
3345
0.126345
0.128793
245
0.128793
281
0.128781
339
0.128768
260
0.128756
280
0.128744
257
0.128731
249
0.128719
222
0.128706
280
0.128694
291
0.128681
262
0.128669
264
0.128656
254
0.128644
253
0.128632
237
0.128619
207
0.128607
276
0.128594
207
0.128582
358
0.128569
305
0.128557
288
0.128545
260
0.128532
295
0.12852
279
0.128507
307
0.128495
215
0.128483
339
0.12847
298
0.128458
267
0.128445
277
0.128433
367
0.128421
234
0.128408
237
0.128396
292
0.128383
315
0.128371
220
0.128359
290
0.128346
290
0.128334
337
0.128321
246
0.128309
202
0.128297
326
0.128284
364
0.128272
314
0.12826
303
0.128247
304
0.128235
281
0.128223
330
0.12821
285
0.128198
315
0.128185
349
0.128173
251
0.128161
365
0.128148
314
0.128136
345
0.128124
293
0.128111
329
0.128099
346
0.128087
373
0.128074
363
0.128062
396
0.12805
431
0.128037
390
0.128025
432
0.128013
504
0.128
470
0.127988
468
0.127976
519
0.127963
409
0.127951
500
0.127939
567
0.127927
450
0.127914
480
0.127902
393
0.12789
405
0.127877
384
0.127865
438
0.127853
481
0.12784
377
0.127828
314
0.127816
358
0.127804
384
0.127791
376
0.127779
461
0.127767
401
0.127755
443
0.127742
450
0.12773
547
0.127718
525
0.127705
554
0.127693
577
0.127681
652
0.127669
753
0.127656
766
0.127644
845
0.127632
970
0.12762
1150
0.127607
1326
0.127595
1586
0.127583
1834
0.127571
1970
0.127558
2146
0.127546
2519
0.127534
2703
0.127522
3003
0.127509
3120
0.127497
3133
0.127485
3345
0.127473
3240
0.127461
3180
0.127448
2989
0.127436
2796
0.127424
2636
0.127412
2299
0.127399
1870
0.127387
1640
0.127375
1394
0.127363
1177
0.127351
1035
0.127338
868
0.127326
681
0.127314
526
0.127302
474
0.12729
428
0.127277
406
0.127265
324
0.127253
251
0.127241
227
0.127229
243
0.127217
243
0.127204
173
0.127192
159
0.12718
146
0.127168
155
0.127156
163
0.127144
199
0.127131
136
0.127119
124
0.127107
140
0.127095
134
0.127083
145
0.127071
117
0.127058
103
0.127046
82
0.127034
70
0.127022
93
0.12701
81
0.126998
88
0.126986
105
0.126973
76
0.126961
75
0.126949
109
0.126937
122
0.126925
82
0.126913
60
0.126901
63
0.126889
134
0.126876
83
0.126864
99
0.126852
44
0.12684
2
0.126828
65
0.126816
59
0.126804
113
0.126792
78
0.12678
105
0.126768
32
0.126755
14
0.126743
68
0.126731
65
0.126719
58
0.126707
81
0.126695
75
0.126683
52
0.126671
48
0.126659
98
0.126647
51
0.126635
47
0.126622
37
0.12661
24
0.126598
69
0.126586
68
0.126574
92
0.126562
32
0.12655
63
0.126538
71
0.126526
70
0.126514
42
0.126502
55
0.12649
51
0.126478
59
0.126466
88
0.126454
53
0.126442
90
0.12643
0
0.126418
69
0.126406
30
0.126394
77
0.126381
68
0.126369
6
0.126357
52
0.126345
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2hr in Ar at 380
2003
5
7
23
3
26
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
546
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
9367
0.164536
0.168566
655
0.168566
659
0.168545
655
0.168524
573
0.168504
571
0.168483
583
0.168463
630
0.168442
534
0.168421
596
0.168401
547
0.16838
555
0.16836
541
0.168339
507
0.168319
457
0.168298
483
0.168277
533
0.168257
490
0.168236
605
0.168216
494
0.168195
448
0.168175
479
0.168154
408
0.168134
410
0.168113
429
0.168093
512
0.168072
416
0.168052
469
0.168031
444
0.168011
453
0.16799
413
0.16797
394
0.167949
416
0.167929
383
0.167908
308
0.167888
387
0.167868
277
0.167847
377
0.167827
357
0.167806
352
0.167786
331
0.167765
377
0.167745
316
0.167724
335
0.167704
272
0.167684
294
0.167663
280
0.167643
309
0.167622
292
0.167602
274
0.167582
262
0.167561
153
0.167541
281
0.167521
169
0.1675
261
0.16748
278
0.167459
188
0.167439
209
0.167419
229
0.167398
166
0.167378
261
0.167358
214
0.167337
196
0.167317
202
0.167297
228
0.167276
237
0.167256
186
0.167236
173
0.167216
130
0.167195
156
0.167175
167
0.167155
257
0.167134
214
0.167114
262
0.167094
246
0.167074
273
0.167053
197
0.167033
198
0.167013
221
0.166992
214
0.166972
212
0.166952
250
0.166932
161
0.166911
117
0.166891
224
0.166871
302
0.166851
219
0.166831
326
0.16681
319
0.16679
370
0.16677
336
0.16675
415
0.16673
488
0.166709
467
0.166689
742
0.166669
711
0.166649
768
0.166629
913
0.166609
1063
0.166588
1172
0.166568
1337
0.166548
1644
0.166528
1838
0.166508
2031
0.166488
2421
0.166467
2878
0.166447
3141
0.166427
3516
0.166407
4000
0.166387
4537
0.166367
4947
0.166347
5549
0.166327
6001
0.166307
6431
0.166286
7062
0.166266
7466
0.166246
7980
0.166226
8484
0.166206
8534
0.166186
8827
0.166166
9074
0.166146
9296
0.166126
9367
0.166106
9315
0.166086
9007
0.166066
9048
0.166046
8618
0.166026
8141
0.166006
7809
0.165986
7136
0.165966
6597
0.165946
6145
0.165926
5523
0.165906
5060
0.165886
4354
0.165866
3767
0.165846
3314
0.165826
2779
0.165806
2593
0.165786
2125
0.165766
1652
0.165746
1523
0.165726
1153
0.165706
1032
0.165686
865
0.165666
681
0.165646
561
0.165626
476
0.165606
456
0.165586
409
0.165566
259
0.165546
247
0.165526
177
0.165506
259
0.165486
209
0.165467
222
0.165447
146
0.165427
181
0.165407
78
0.165387
93
0.165367
94
0.165347
150
0.165327
160
0.165307
123
0.165288
126
0.165268
102
0.165248
122
0.165228
101
0.165208
54
0.165188
48
0.165168
25
0.165149
44
0.165129
128
0.165109
55
0.165089
107
0.165069
46
0.165049
54
0.16503
61
0.16501
167
0.16499
68
0.16497
95
0.16495
103
0.164931
35
0.164911
53
0.164891
141
0.164871
79
0.164852
84
0.164832
88
0.164812
103
0.164792
31
0.164773
46
0.164753
89
0.164733
63
0.164713
13
0.164694
71
0.164674
99
0.164654
75
0.164634
49
0.164615
0
0.164595
84
0.164575
152
0.164556
95
0.164536
end of experiment
